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  • 氧化鋅靶材

    AZO優點:

    致密度高:≥99.95%

    穩定性高:可承受更高濺射功率

    晶粒尺寸:≤20um

    電阻率好:優于同類產品

     

    納諾特氧化鋅(AZO)靶材性能指標如何?

    致密度:>99.95%

    密  度:>5.52g/cm3

    電阻率:≤3×10-3Ω*㎝

    晶粒尺寸:<20um<>

    含氧量充足,無需通氧濺射

    穩定性好,可承受更高濺射功率

    成分:98wt%ZnO+2wt%Al2O3

    注:根據客戶需求,可提供Al2O3摻雜量在0.06%-3wt%


    GZO優點:

    致密度高:≥99.95%

    穩定性高:可承受更高濺射功率

    晶粒尺寸:≤20um

    電阻率好:優于同類產品

    納諾特氧化鋅(GZO)靶材性能指標如何?

    致密度:>99.95%

    密  度:>5.50g/cm3

    電阻率:≤7×10-3Ω*㎝

    光電性能與ITO媲美

    成分:95wt%ZnO+5wt%Ga2O3

    注:根據客戶需求,可提供Ga2O3摻雜量在0.5%-6wt%

    IZO優點:

    致密度高:≥99.95%

    穩定性高:可承受更高濺射功率

    晶粒尺寸:≤20um

    電阻率好:優于同類產品

    納諾特氧化鋅(IZO)靶材性能指標如何?

    致密度:>99.95%

    密  度:>5.50g/cm3

    良好濕熱穩定性、高溫熱穩定性

    抗彎折能力強,薄膜粗糙度低至0.9um

    成分:94wt%ZnO+6wt%In2O3

    注:根據客戶需求,可提供In2O3摻雜量在1%-15wt%

    i-zo優點:

    致密度高:≥99.95%

    穩定性高:可承受更高濺射功率

    晶粒尺寸:≤20um

    電阻率好:優于同類產品

    納諾特氧化鋅(i-ZO)靶材性能指標如何?

    致密度:>99.95%

    密  度:>5.40g/cm3

    晶粒尺寸:<20um<>

    均勻性好,穩定性高,可承受更高濺射功率


    MZO優點:

    致密度高:≥99.95%

    穩定性高:可承受更高濺射功率

    晶粒尺寸:≤20um

    電阻率好:優于同類產品

    納諾特氧化鋅(MZO)靶材性能指標如何?

    致密度:>99.95%

    密  度:>5.52g/cm3

    電阻率:≤3×10-3Ω*㎝

    晶粒尺寸:<20um<>

    成分:98wt%ZnO+2wt%MgO

    注:根據客戶需求,可提供MgO摻雜量在1%-3wt%


    產品展示

    • AZO

    • GZO

    • IZO

    • i-zo

    • MZO

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    • IZO

    • i-zo

    • MZO

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